高頻振蕩傳感器由檢測元件、檢測單元、放大單元、整數(shù)單元和輸出單元組成。安裝在傳感器內(nèi)部的檢測元件由檢測線圈和高頻振蕩器組成。檢測線圈上電后，產(chǎn)生交變電磁場。當金屬物體靠近電磁場時，金屬表面的磁通密度發(fā)生變化，產(chǎn)生感應(yīng)電流渦流。渦流產(chǎn)生的磁通量始終與檢測線圈的磁通量方向相反。由于渦流的作用，檢測線圈能耗增大，質(zhì)量系數(shù)降低，幅值減小，振蕩器停止振動。相反，當金屬物體遠離這個作用區(qū)域時，振蕩器又開始振蕩。檢測電路檢測到幅值檢測器的狀態(tài)變化后，將其轉(zhuǎn)換為開關(guān)信號。

電感式接近傳感器只對金屬物體敏感，不能用于探測非金屬物體。同時,由于散射的高頻振蕩線圈產(chǎn)生的交變磁場傳感器的狀態(tài)的變化將導致當金屬物體不斷接近的前端傳感器,傳感器將會發(fā)出一個信號,當金屬物體出現(xiàn)在傳感器。對于檢測精度要求高的場合或者傳感器周圍有金屬物體的時候，需要選擇屏蔽的感應(yīng)近距離傳感器，因為這類傳感器預先屏蔽了振蕩線圈周圍的磁場，而只有金屬物體在傳感器前端時，才會觸發(fā)傳感器狀態(tài)的變化。